工质充装系统主要用于满足两相散热产品生产过程中对高真空、高精度工质充装设备的需求。保证工质的充装，同时采用真空系统减少产品中的不凝气体，保证产品的性能良好。

• 系统真空度优于1×10-3Pa；
• 充装精度优于±0.1g；
• 充装速度每分钟1件。